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A.1. 紅寶石標(biāo)準(zhǔn)球 表面粗粒度Ra不大于0.05μm；直徑和形狀誤差經(jīng)過校準(zhǔn)，形狀誤差MPE：1.0μm，圓度≤1μm，圓度直徑不應(yīng)大于X射線三維尺寸測量機(jī)測量空間對角線的20%。 校準(zhǔn)：探測形狀（PF）、尺寸誤差（Ps）。 A.2. 多球標(biāo)準(zhǔn)器 最小球心距小于30 mm；最大球心距大于 X 射線三維尺寸測量機(jī)測試位置空間對角線長度的 66%，其校準(zhǔn)結(jié)果的擴(kuò)展不確定度 U≤1μm，k=2。校準(zhǔn)：長度測量誤差(E)。圖A.1 紅寶石標(biāo)準(zhǔn)球結(jié)構(gòu)圖A.3. 校準(zhǔn)設(shè)備 主要校準(zhǔn)設(shè)備可選用多種類型材料制成，推薦使用紅寶石。支承球的圓棒可采用低密度材料制成，應(yīng)避免使用對 X 射線具有強(qiáng)烈吸收能力材料，如鋼鐵等。

A.4. 校準(zhǔn)規(guī)范 JJF0022-2023 X 射線三維尺寸測量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范，適用于具有三維幾何尺寸測量功能的線陣掃描方式和錐束掃描方式的 X 射線三維尺寸測量機(jī)的校準(zhǔn)。

A.5. 探測形狀誤差 1、選定量程內(nèi)的任意兩個(gè)放大倍率，兩個(gè)放大倍率需覆蓋 X 射線三維尺寸測量機(jī)量程的 66%。每個(gè)放大倍率下選取視窗內(nèi)上中下三個(gè)位置放置標(biāo)準(zhǔn)球，上下位置到視窗邊沿距離需要保證大于 5 mm，測量探測形狀誤差。 2、通過三維軟件，在每個(gè)測量位置球面均勻分布采集不小于 25 個(gè)測量點(diǎn)，探測采點(diǎn)分布，利用最小二乘法擬合高斯球面。計(jì)算各測量位置選定球冠表面數(shù)據(jù)點(diǎn)與球心之間的距離 Ri，其中最大距離 Rmax，i與最小距離 Rmin，i之差即為該位置的探測形狀誤差PF，i，按公式計(jì)算。取六個(gè)位置中的探測形狀誤差的最大值作為最終測量結(jié)果。

A.6. 探測尺寸誤差 放置位置與探測形狀誤差的放置位置一致。通過三維軟件在每個(gè)測量位置球面均勻分布采集不小于 25 個(gè)測量點(diǎn)，探測采點(diǎn)分布，利用最小二乘法擬合高斯球面。各測量位置高斯擬合球的直徑測量值與紅寶石球的直徑校準(zhǔn)值 之差即為該位置的探測尺寸誤差PS,i，按公式計(jì)算。取六個(gè)位置中的探測尺寸誤差的最大值作為最終測量結(jié)果。

A.7. 長度測量誤差 1、通過調(diào)整放大倍率設(shè)置旋轉(zhuǎn)臺的位置，將多球標(biāo)準(zhǔn)器安裝固定在旋轉(zhuǎn)臺中心，選擇兩個(gè)不同的放大倍率位置測量長度測量誤差。 2、測量空間七個(gè)方位，各個(gè)空間測量方位的分布，長度測量誤差的空間測量方位見圖，每個(gè)方位至少五組長度尺寸，共計(jì)不少于 35 組長度尺寸；每組測量三次，最小的長度尺寸不超過 30 mm；最大的一組長度尺寸大于測試位置空間對角線長度的66%。 3、使用 X 射線三維尺寸測量機(jī)掃描得到多球標(biāo)準(zhǔn)器的原始數(shù)據(jù)。 4、對 X 射線三維尺寸測量機(jī)掃描后得到多球標(biāo)準(zhǔn)器的原始數(shù)據(jù)進(jìn)行重構(gòu)，對 35個(gè)球心距相關(guān)聯(lián)的球面進(jìn)行采集測量點(diǎn)并利用最小二乘法進(jìn)行擬合求出球心坐標(biāo)，計(jì)算球心距 Lk,1，Lk,2，Lk,3……Lk,34，Lk,35。則各個(gè)位置的長度測量誤差 Ei，按公式計(jì)算。